Essais de nano-indentation avec le Nano indenteur XP (MTS)
(Testing of nano-indentation with the Nano indenter XP (MTS))
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La nano-indentation est une technique permettant de mesurer la dureté et le module d’élasticité (y compris les modules dynamiques) d’un matériau par l’enfoncement d’une pointe.
La mesure par nanoindentation nécessite un appareillage très sensible et précis. La mesure par nanoindentation consiste à appliquer et à contrôler des charges aussi faibles que quelques dizaines de micro-Newtons (μN) et jusqu'à quelques centaines de millinewtons (mN) avec une précision au micronewton.
L’avantage de l’instrument de nanoindentation est sa capacité à mesurer avec une résolution nanométrique, la profondeur de pénétration allant jusqu’à quelques dizaines de nanomètres avec une précison inférieure au nanométre.
Les indentations, à cette échelle, permettent d’évaluer les propriétés mécaniques des films minces, sans influence du support.
(The nano-indentation is a technique to measure the hardness and modulus of elasticity (including dynamic modules) of a material by the draft of a point.
The measurement by nanoindentation apparatus requires a very sensitive and accurate. The measurement by nanoindentation is to implement and monitor expenses as low as a few tens of micro-Newtons (µN) and up to several hundred Millinewton (mN) with an accuracy Micronewton.
The advantage of the nanoindentation instrument is its ability to measure with nanometer resolution, depth of penetration up to a few tens of nanometers with an accuracy of less than one nanometer.
The indentations in this scale to assess the mechanical properties of thin films, without influence of the media.)
Les géométries des indenteurs dont nous disposons sont de natures différentes :
– les pointes de symétrie axiale : pointes coniques de révolution et sphériques ;
– les pointes de type « cône pyramidal » :
• pyramides à trois faces : Berkovich et Coin-cube,
• pyramides à quatre faces : Vickers et Knoop
L'instrument peut être utilisé pour l'analyse d'une majorité de matériaux.
Notamment pour évaluer les procédés d'élaboration par CVD, PVD, PACVD, mais aussi des applications touchant le domaine des peintures, laques, vernis, couches ophtalmiques (sol-gel), microélectroniques, films cosmétiques, ...
Les substrats testés peuvent être durs ou mous : métaux, alliages métalliques, semi-conducteurs, verres, céramiques, revêtements réfractaires et polymères ou matériaux organiques
(The indenter geometries we have are of different natures :
- Peak axial symmetry : conical tips of revolution and spherical ;
- Peak-type cone pyramid " :
• three-sided pyramids : Berkovich and cube-corner,
• pyramids with four sides : Vickers and Knoop
The instrument can be used for the analysis of a majority of materials.
Particular to evaluate the processes of preparation by CVD, PVD, PACVD, but also applications involving the field of paints, lacquers, varnishes, eye layers (sol-gel), microelectronics, movies, cosmetics, ...
The substrates tested can be hard or soft : metals, metal alloys, semiconductors, glass, ceramics, refractory coatings and polymers or organic materials )